日本BETHEL热分析仪器热物性显微镜TM3B

热物性显微镜TM3B的优势：

・ 热物性显微镜是测量热物性值中热渗透率的一种设备；

・ 可以通过点、线、面测量样品的热物性；

・ 可测量微米等级的热物性值的分布；

・ 全球非接触方式且高分辨率的热物性测量设备；

・ 检测光点径3μm、高分辨率来测量微小领域的热物性（点、线、面  测量）；

・ 可改变深度范围进行测量，从薄膜、多层膜到散装材料都可测量；

・ 基板上的样品也可测量；

・ 激光非接触式测量；

・ 可检测薄膜下的裂纹、孔隙、脱落等问题。

微小领域（微米等级）、纳米薄膜、Sic（单晶体、多晶体）、AIN等的测量。