锗烷气体_硅烷厂家批发_重庆凯益特种气体有限公司

锗烷气体_硅烷厂家批发_重庆凯益特种气体有限公司 锗烷是一种无色、有毒的易燃气体，带有刺激性气味。其可在空气中自发燃烧。它可与氢、氩、氦、氮相互兼容，经常与这些气体混合运送。锗烷被用于外延硅和非晶硅、锗、合金的沉积，且作为(Si, Ge)02薄膜等离子体增强化学汽相沉积的一种成分，为光电子的应用提供了可控的折射率。通常以游离气体而非自身压力下的液化气体进行运送。 锗烷成分 电子等级 纯度*少99.999% (不包括乙锗烷和氢气) 二氧化碳< 2 ppm 一氧化碳< 1 ppm 氢气 < 50 ppm 氮气< 2 ppm 氧气 氩气< 0.5 ppm 总碳氢化合物 (如，甲烷)< 1 ppm 三锗烷< 1 ppm 保存期限: 1 年 分子量76.64 空气中的可燃度极限自燃的 气体在1个标准大气压（空气=1）和70cF(21.1°C)温度下的比重2.65 气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的密度0.198lbs/ft3 (3.17g/l) 气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的比容5.05ft3/lb (0.315l/g) 在75.1 磅/平方英尺 (518 kPa)气压的熔点-266.6ㄈ (-165.9°C) 在1个标准大气压的沸点-127ㄈ (-88.4°C) 临界温度94.7ㄈ (34.8°C) 临界压力805.3 磅/平方英尺 (55.5 bar) 毒性 时间加权平均阈限值>0.2 ppm 半数致死浓度50 ppm