电子级磷烷的厂商/西南地区硅烷气体生产厂家/重庆凯益特种气体有限公司
磷烷具有五配位磷的有机化合物,稳定的磷烷多为氟原子的衍生物或环状磷 酸酯。
中文名称:磷烷
中文别名:磷化氢、膦
英文名称:phosphine
英文别名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;
phosphorus hydride; Phosphorus trihydride
CAS号:7803-51-2
性质:无色,剧毒,易燃烧气体,带有令人生厌的大蒜味。
应用:用于多种化学反应中;半导体生产,N型半导体外延片掺杂;多晶硅掺杂;离子注入。
分子量:34.0
比重 (Air = 1):1.184
比容:0.712m3/
[email protected] ordm;C, 101.325kPa
气味:大蒜味