电子级磷烷混合气批发-电子级硅烷价格-重庆凯益特种气体有限公司

电子级磷烷混合气批发-电子级硅烷价格-重庆凯益特种气体有限公司 磷烷具有五配位磷的有机化合物，稳定的磷烷多为氟原子的衍生物或环状磷 酸酯。 中文名称:磷烷 中文别名:磷化氢、膦 英文名称:phosphine 英文别名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen; phosphorus hydride; Phosphorus trihydride CAS号:7803-51-2 性质：无色，剧毒，易燃烧气体，带有令人生厌的大蒜味。 应用：用于多种化学反应中；半导体生产，N型半导体外延片掺杂；多晶硅掺杂；离子注入。 分子量：34.0 比重 (Air = 1)：1.184 比容：0.712m3/[email protected] ordm;C, 101.325kPa 气味：大蒜味 磷烷作用： 在电子气家族中，硅烷、磷烷、硼烷应用量较大，是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。 PH3 ，易燃、易爆、剧毒，其毒性 数为：PEL/TLV 0.3ppm， STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，属剧毒危害品。 磷烷应急处理处置方法： 一、泄漏应急处理 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即隔离450米，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。喷雾状水稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如有可能，将漏出气用排风机送至空旷的地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 二、防护措施 呼吸系统防护：正常工作情况下，佩带过滤式防毒面具(全面罩)。高浓度环境中，必须佩戴空气呼吸器或氧气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴空气呼吸器。 眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。 身体防护：穿面罩式胶布防毒衣。 手防护：戴橡胶手套。 其它：工作现场严禁吸烟、进食和饮水。工作毕，淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。 三、急救措施 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 灭火方法：消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风处灭火。切断气源。若不能立即切断气源，则不允许熄灭正在燃烧的气体。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水、泡沫、干粉、二氧化碳。 .凯益特种气体///特种气体磷烷供应商电话-重庆高纯砷烷*-重庆凯益特种气体有限公司