电子级磷烷混合气批发-电子级硅烷价格-重庆凯益特种气体有限公司
磷烷具有五配位磷的有机化合物，稳定的磷烷多为氟原子的衍生物或环状磷 酸酯。
中文名称:磷烷
中文别名:磷化氢、膦
英文名称:phosphine
英文别名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;
phosphorus hydride; Phosphorus trihydride
CAS号:7803-51-2
性质：无色，剧毒，易燃烧气体，带有令人生厌的大蒜味。
应用：用于多种化学反应中；半导体生产，N型半导体外延片掺杂；多晶硅掺杂；离子注入。
分子量：34.0
比重 (Air = 1)：1.184
比容：0.712m3/
[email protected] ordm;C, 101.325kPa
气味：大蒜味
磷烷作用：
在电子气家族中，硅烷、磷烷、硼烷应用量较大，是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
PH3 ，易燃、易爆、剧毒，其毒性 数为：PEL/TLV 0.3ppm， STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，属剧毒危害品。
磷烷应急处理处置方法：
一、泄漏应急处理
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即隔离450米，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。喷雾状水稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如有可能，将漏出气用排风机送至空旷的地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
二、防护措施
呼吸系统防护：正常工作情况下，佩带过滤式防毒面具(全面罩)。高浓度环境中，必须佩戴空气呼吸器或氧气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴空气呼吸器。
眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。
身体防护：穿面罩式胶布防毒衣。
手防护：戴橡胶手套。
其它：工作现场严禁吸烟、进食和饮水。工作毕，淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。
三、急救措施
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
灭火方法：消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风处灭火。切断气源。若不能立即切断气源，则不允许熄灭正在燃烧的气体。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水、泡沫、干粉、二氧化碳。
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