往复式真空泵(又称活塞式真空泵)是干式真空泵;它是依靠汽缸内的活塞作往复运动来吸入和排出气体的。
往复式真空泵的结构及减压原理往复式真空泵的结构和作用原理,与往复式压缩机基本相同。它们都是将低压气体经过压缩而提高压强。不同之处在于,前者是从容器中抽出稀薄气体,并将其压缩到一个大气压以上后再排出去,而后者,则是将常压的气体压缩到更高的压强后排出去。
此外,它们在配气机构,即进气阀和排气阀结构方面也有区别,往复式压缩机巾,一般采用弹簧阀,而往复式真空泵中,则多采用滑阀式配气机构。往复式真空泵的压缩比很高,例如要达到95%的真空度时,其极限压力为5kPa,而排气压力为Il2kPa,则其压缩比为22:所以,余隙中残留气体时,对真空泵的生产能力会产生非常大的影响。