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切割液按成份分类主要包括油性切割液和水性切割液两大类。
一类切割液产品主要是以矿物油为主要成分的油性切割液,其中含有矿物油,防腐蚀剂,抗挤压机等物质;切割液本身易燃,对环境污染较大,同时清洗硅片时需要含氟的烷烃溶剂。
二类水性切割液产品可以溶于水或被水分散,清洗硅片用水即可,不用有机溶剂,对人体和环境无损害。
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