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二次元的测量原理是由光学镜头对待测物体进行高倍率放大成像，经过CCD摄像系统将放大后的物体影像送入计算机后，能*地检测各种复杂工件的轮廓和表面形状尺寸、角度及位置，特别是精密零部件的微观检测与质量控制。可将测量数据直接输入到AUTOCAD中成为完整的工程图，图形可生成DXF文档,也可输入到WORD、 EXCEL、SP报表中进行统计分析，可划出简单的Xbar-S管制图，求出Ca等各种参数。
三次元测量仪的测量原理是使用探针去磕碰工件的边际，获得该方位的坐标值，再减去测头的半径即为工件的实践坐标值。通常三次元的三轴都有装置光学尺，当测头触摸到工件时，会送出信号以撷取当前坐标值，再经由测量软体运算处置，便可计算出坐标值或尺度，只需按照测量方位去取点便能得到测量数据。
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