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对三坐标测量仪的具体结构,用电感测微仪进行了动态偏转角误差的测量,并推导出由动态偏转误差得到测头处的动态位移误差的方法。同时,对由测量仪导轨的直线度造成的误差进指出动态误差主要是由各构件绕气浮导轨连接处的偏转和各运动构件本身的弯曲变形造成的。为了提高三次元的测量速度,缩短测量周期,分析了影响三坐标测量仪动态误差的原因。
在测量仪器气浮导轨力矩刚度和横梁弯曲刚度已知的情况下,只要测量出两侧气浮导轨滑架的偏转角误差,就可以得到测头位置处的动态位移误差。除了静态或准静态误差外,三坐标测量仪测量结果的精度还受到动态误差的影响。测量机速度的加快使动态误差对测量结果的影响更大。
动态误差主要是由三坐标测量仪的结构特性,如质量的分布、构件刚度、控制及干扰力所决定的,由各构件绕气浮导轨连接处的偏转和各运动构件本身的弯曲变形造成的。当测量速度较高时,尤其在高速扫描测量中,这一误差对测量结果影响较大。
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