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三坐标测量仪测头可以分为扫描式测头和触发式测头，而目前的三次元使用*多的是触发式测头。触发式测头比扫描测头快，触发测头体积较小当测量空间狭窄时测头易于接近零件， 一般来讲触发式测头使用及维修成本较低，零件所被关注的是尺寸、间距或位置，而并不强调其形状误差。
测头是影像测量仪重要的组成部分，由于机械工业需要测量大量的几何量，所关注的仅是工件的尺寸及位置，目前市场上的大部分三坐标测量机，仍然使用接触式触发测头，特别是中等精度三坐标测量机。加工设备有能加工出形状足够好的零件，而注意力主要放在尺寸和位置精度时，接触式触发测量是合适的，特别是由于对离散点的测量。
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