质量流量计:
主要*美国Brooks(布鲁克斯)、韩国LINE-TECH(莱茵泰克)
美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同,BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量,不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外,所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容,安装简便。
常用型号有:5850E / SLA5850S / 5851E/SLA5851S/5853S/SLA5853S、5964系列、0254控制单元
基本型号:5850E/SLA5850S
技术参数:数字信号/模拟信号输出,可远距离通过电脑直接显示控制,可配显示单元
介质:可选02、H2、N2、等非腐蚀性气体或S02、HCL等腐蚀性气体
大工作压力:1500PSI(10.432Mpa)
进气口压差:一般≤0.5MPA
精度:±1%
电气接口:15Pins D-Type
信号输出:RS485
气路接口:1/4VCR或1/4SWG
流量范围:0-30SLPM
*高使用温度:65°C
控制信号:0-5V/4-20MA
电源:±15V/15-24V
密封材质:Viton/Kalrez
主要应用领域为太阳能光伏、半导体、石油化工、LED、集成电路、玻璃光纤制造、各大科研院校等事业群体