高纯气体供应系统
特气柜(Gas Cabinet),气瓶柜(BSGS),气瓶架(Rack),阀门箱(VMB),VMP。
主要应用于:半导体,太阳能光伏,微电子,镀膜等需要高纯气体的行业。
设备有全自动型,半自动型,手动型;
主要气体有:硅烷、氨气、笑气、氯气、三氯化硼、磷烷、锗烷等易燃易爆、腐蚀性毒性气体,
常规性气体:氮气、氩气、氦气、氧气等分流盘、汇流排、半自动切换,
公司拥有*的施工团队,满足不能用户的需求,产品质保一年。
详细图纸和资料请联系供应商。
高纯气体供应系统
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主要应用于:半导体,太阳能光伏,微电子,镀膜等需要高纯气体的行业。
设备有全自动型,半自动型,手动型;
主要气体有:硅烷、氨气、笑气、氯气、三氯化硼、磷烷、锗烷等易燃易爆、腐蚀性毒性气体,
常规性气体:氮气、氩气、氦气、氧气等分流盘、汇流排、半自动切换,
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