AES杂质成分分析

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俄歇电子能谱（AES）

测试项目：
1、表面元素搜索分析
   针对产品表面涂层、镀层、污点成分分析
2、表面和离子溅射一定深度再元素搜索分析
   针对产品表面涂层、镀层、污点成分分，随着溅射深度增加，再做出内部成分，可对比
3、纵向分布分析
   元素随着深度变化含量曲线
4、元素含量分布图
   元素在产品表面上的分布图
精确度：0.1-1%（在成分分析中，此精确度比较低，但对于一些极微小的杂质来说，基本不用在做精确定量，知道主成分既可满足大多数要求）
分析尺寸：能分析小至25纳米的颗粒
应用领域：产品表面污染物、薄膜化学成分的分产品表面*涂层或杂质的元素含量等
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