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测量型金相显微镜
产品用途
测量型金相显微镜是一种兼顾影像与目视的*、*率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面等工业领域。
产品特点
● X、Y、Z轴0.5μm分辨率；
● *非接触式光测高度量测模块；
● Z轴粗调/微调旋钮；
● 同轴表面光/底光测量；
● 内建偏光量测光学模块；
● 可量测透明材质纳米级高度差
技术参数
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规格型号
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MTM-1510M
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MTM-2010M
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工作行程X、Y、Z轴
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150*100*120（mm）
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200*100*120（mm）
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光学尺分辨率
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0.5μm
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示值误差
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X、Y坐标≤（3+L/75）μm （L为测量长度，单位mm）
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影像系统
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彩色1/2"CCD摄像机；640*480像素；结合测量软件
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显微镜系统
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目镜：10倍
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滤光片：红，蓝，绿，白
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测量模式：反射，透射，偏光
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5孔物镜转换器
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照明系统
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透射照明光源：白光LED，亮度可调
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同轴照明光源：卤素灯，亮度可调
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物镜
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倍率
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5X
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10X
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20X
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30X
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工作距离（mm）
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20.0
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18.3
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8.8
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2.0
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高度量测模块（选配件）
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光干涉高度量测模块（M10-CA），高度量测分辨力0.5μm（选配）
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倍率：10X，工作距离5mm，光学分辨力2μm
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其它参数
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外形尺寸（mm）
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590*560*850
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仪器重量（kg）
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100
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110
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电源功耗
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110V—220V 50/60Hz <60W
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