172nm准分子灯

准分子灯，又称紫外线准分子灯，通过采用准分子气体配比获得不同单色波长，如172nm、222nm或308nm等高强度的准分子紫外光。准分子发射的紫外线光具有单光谱特性，狭窄的光谱线和单色紫外辐射光谱使得它能用更集中的功率来进行光处理。光清洗利用有机化合物的光敏氧化作用，去除黏附在材料表面的有机物，经过光清洗后的材料表面可以达到“原子清洁度”。主要应用于液晶显示器件、半导体硅晶片、集成电路、光学器件等领域。关键点1...

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