技术参数
射频发生器(RF)
(1) 电路类型:自激振荡电路,全自动点火,精密高压开关电源供电系统,所有功能实现电脑软件控制(点火、熄火、功率等参数设置);实时功率控制;自动匹配调谐;光室恒温;;
(2) 工作频率:40.68MHZ±0.05%
(3) 频率稳定性:<0.1%
(4) 输出功率:700-1600w
(5) 输出功率稳定性:≤0.3%
(6) 电磁场泄漏辐射强度:距机身300mm 电场强度E:<2V/m
进样装置:
(1) 输出工作线圈内径25mm,3匝
(2) 炬管:外径20mm的石英炬管
(3) 同轴型喷雾器外径6mm
(4) 双筒形雾室外径35mm
(5) 氩气流量计规格和载气压力表规格:
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①、 等离子体流量计(100-1000)L/h ;(1.6-16L/min)
②、 辅助气流量计(6-60)L/h ;(0.1-1L/min)
③、 载气流量计(6-60)L/h ;(0.1-1L/min)
④、 载气稳压阀(0-0.4MPa)
仪器内设氩气二次稳压阀(0.3MPa)
测光装置:
(1) 光电倍增管规格: R212UH
(2) 光电倍增管负高压:200-1000V ,稳定性<0.05%
(3) 光电倍增管电流测量范围:10-12 -10-4A
(4) 信号采集为V/F交换:1mV对应100Hz
分光器:
(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光栅规格:离子刻蚀全息光栅,刻线密度3600线/mm,专业光谱仪厂家直销,
刻线面积: 80×110mm,线色散率倒数:0.26nm
(4) 波长范围:190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.008nm
(6) 扫描波长范围3600线/mm 扫描波长范围:190-500nm
(7) 步进电机驱动最小步距:0.0006nm
(8) 入射狭缝:20µm 出射狭缝:25µm
(9) 发射镜规格:(78 × 105 × 16)mm
(10) 透镜ф30,1:1成像
整机技术指标:
(1) 测量波长范围:
180-500nm 3600L/mm光栅
180-800nm 2400 L/mm光栅
(2) 测量精度(重复性):平均相对标准偏差RSD≤1%
(3) 测量稳定性:平均相对标准偏差RSD≤2
(4) 检出下限:亚PPb
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