等离子体特殊性质的具体应用
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要现代轿车上的所有缺陷,几乎一半是由于气候引起的老化和电子元器件发生的腐蚀损害而造成的薄膜刻蚀刻蚀技术是电子信息领域实现薄膜的微图形化的关键技术之一
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而利用等离子技术,可有效沉积超薄、透明和绝缘的防老化等离子聚合涂层,查等离子清洗机批发,加香机、清洗机相关,并有选择性的保护电子器件,特别是印刷电路板
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