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碳化硅_山东半导体材料销售公司

  • 产品名称:碳化硅
  • 产品价格:面议
  • 产品数量:1
  • 保质/修期:1
  • 保质/修期单位:
  • 更新日期:2025-03-13
产品说明

  第六,退火掺杂完了,退火工艺也和硅不一样,是一个点一个点的激光退火!国内类似大族的激光设备是可以用的.第七,背面欧姆接触同理离子注入,半导体与金属接触会形成势垒,当半导体的掺杂浓度很高的时候电子可以借助“隧穿效应”穿过势垒,从而形成低阻的欧姆接触,形成良好的欧姆接触是有利于电流的输入和输出,因此选择什么金属材料对于碳化硅做欧姆接触很重要!碳化硅的长晶技术大致有三种,PVT物理气相传输法,HT-CVD高温气相沉积法,以及LPE溶液法!

  外延片质量和衬底质量有一定的关系,但是不是关系,高水平的外延能很大程度上弥补衬底固有缺陷,但是缺陷太多长一层外延也并不解决问题,但是外延长的好确实降低了器件对衬底的要求。所以哪怕衬底有这么点瑕疵,外延之后,依然能用!现阶段,是有衬底就行了,所以哪怕衬底质量有些问题,依然能用,敢用原因就在这里,碳化硅需求太旺盛了!其次器件是在外延层上,除了IGBT那种垂直穿通型的结构,大部分都是在外延层上做的结构,衬底甚至还要减薄,剥离,反正有相当一部分衬底都要被剥离,有点小问题也所谓,因此外延工艺降低了器件对衬底的要求,至少二极管之类肯定是能用的!

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  其中PVT比较主流,优点是简单,可靠,成本可控.CVD对设备要求太高,价格很贵,只有高质量的半绝缘衬底会用这个方法;LPE溶液法能做天然P型衬底,但是缺陷很难控制,还需要时间积累,日本公司不少专注于这个路线!以PVT法为例,这种方案下碳化硅生长速度只有硅材料生长速度的1/100都不到,144小时只有2cm左右的厚度,实在是太慢了,要想获得更多的产量,只能靠长晶炉数量堆。目前国外日新技研和PVATepla的长晶炉基本要卖到300万左右一台.

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  必须用的是一种特殊光刻胶?干膜光刻胶?具体名称我叫不上来了,反正和硅肯定不一样。第三刻蚀,这里涉及非常复杂的工艺结构问题,现在玩碳化硅的国际三大家,英飞凌,罗姆,和CREE。其中CREE主要搞平面型,英飞凌的是非对称半包结构,罗姆是双/深沟槽结构,还有一个住友整过一个接地双掩埋。之所有英飞凌和罗姆要整这么复杂的沟槽结构,原因很简单,碳化硅和硅不一样,掺杂后的扩散推结动作异常困难,只能搞挖沟槽。其次,是增加功率/面积比,相比之下沟槽能比平面型降低30%的成本,这招业内俗称“偷面积”,能偷30%,相当可观了。

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  外延炉主要是国外的爱思强,意大利的LPE(被ASM收购),日本的TEL,Nuflare。国内有不少公司干这个,类似北方华创,中微,以及一些小公司.PVT法的长的碳化硅晶体天然是N型,没有P型,但是做外延层就可以调节N还是P,以及掺杂浓度(至少硅的外延层就是这样的)。之所以要做外延层,道理也很简单,消除衬底本身的缺陷问题,提高器件良率,其次是根据不同工艺,需要做不同外延掺杂工艺!那么对于碳化硅而言,外延之后,能明显提高良率.


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  衬底片完了之后就是长外延,外延之后就是一系列的光刻,刻蚀,涂胶,沉积,清洗,离子注入等工艺,和硅工艺基本一致,然后就是后道的晶圆切die,封装测试等,基本流程和硅差不多.其中长外延,光刻胶,背面退火,刻蚀,以及氧化栅极工艺区别,欧姆接触和硅工艺区别非常大。硅的外延工艺就是普通的硅外延炉之类价格也很便宜国产的大约400-500万一台(8英寸的);碳化硅的是特殊的MOCVD/HT-CVD,且价格非常贵,基本要800-1500万人民币一台,而且产能很低,一台炉子一个月产能是30片.

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感觉还行,的确如此国内就这一家网站是专做碳化硅的。现在会员好像降价了是1200多,以前是1480吧
碳化硅在钢材冶炼中有哪些好处?
碳化硅反应后残留于钢中的脱氧元素对钢的性能无害;碳化硅材料应用价值高,成本效果也不错。
通过碳化硅脱氧的反应要比硅铁,碳粉,电石粉反应的时间短。一方面节省时间,节省电耗,节省人力,同时也提高了生产效率。
碳化硅脱氧剂能提高强度增强韧性,且有迅速脱氧成渣早,还原气氛浓有效地提高元素的回收率,大大降低冶炼成本,使铁水质量稳定,延缓铁水的孕育衰退时间的一种科技含量高的新材料。
碳化硅的特性是什么?
碳化硅熔点高、比重低、莫氏硬度9. 2,强度较高,热震稳定 性较好,不溶于水和酸,但能溶解在熔融碱中。碳化硅在800~ 1140°C之间的抗氧化能力差,因为此时生成的氧化膜(Si02)较疏 松,起不到充分保护作用。当温度升高,达到1550℃时,其抗氧 化性能变好。
CREE上海公司的技术总监邵嘉平博士在对话会上,向专家们报告了“CREE新产品的技术特点”,奥的亮公司的中国区总经理项威先生也在会上介绍了其LED照明灯具,引起了到会者的关注。北京电光源研究所所长屈素辉女士说:CREE在引导客户时,不仅把注意力放在道路照明上,还更多地把注意力放到室内照明上。中国建筑物理研究所的赵建平副所长也指出:LED是新的节能光源大家都知道,但它如何合理地运用到照明领域,还需要深入的探讨,刚在广州举办的"大功率LED路灯应用现状"辩论会就是为了更好地推动。


供应商信息
枣庄市鑫国新能源有限公司
半导体材料
公司地址:山东省枣庄高新区张范街道枣曹路南侧甘霖村西10米薛煤加油站院内101号
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联系人:李海君
手机:15866222366
注册时间: 2011-04-27
 
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