气体质量流量计安装 提供气体质量流量计

　　产品耐高压，耐腐蚀.商品类型：MEMS（微机电系统）气体质量流量计±1%的精度，更快的响应时间＜1秒，工作压力＜10Bar。不适用于腐蚀性气体。商品类型：防爆系列气体质量流量计适用于危险环境ExecⅡCT4GcIP65GradeLineTech生产的气体质量流量计和气体质量流量控制器应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业！

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　　输入输出信号为0-5Vdc/4-20mA没有通讯信号。产品耐高压，耐腐蚀。商品类型：数字系列气体质量流量计精度±0！25~1%，工作压力＜90Bar.输入输出信号为0-5Vdc/4-20mA，RS-485通讯信号.产品耐高压，耐腐蚀！商品类型：袖珍系列气体质量流量计M2200M是袖珍型气体质量流量计，LD030M是袖珍型LED数显气体质量流量计精度±1~2%，工作压力＜90Bar！输入输出信号为0-5Vdc/4-20mA没有通讯信号！

　　2003年LineTech开发出M2系列模拟系列气体质量流量计,流量范围从0!01~100slpm（标准升/分钟）!型号：M2030VA流量范围：0!01~30SLPM精度±1%FS（满量程）工作压力＜90Bar.输入输出信号：0-5Vdc/4-20mA响应时间＜1秒供电：±15Vdc＞350mA工作温度：0-50℃泄漏率：1×10-9atm。cc/sec量程比：3~100型号：M2100VA流量范围：30~100SLPM精度±1%FS（满量程）工作压力＜90Bar！

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　　输入输出信号：0-5Vdc/4-20mA响应时间：＜2秒供电：±15Vdc＞350mA工作温度：0-50℃泄漏率：1×10-9atm.cc/sec量程比：3~100型号：M2800VA流量范围：2500~5000SLPM精度±2%FS（满量程）工作压力：＜待询.输入输出信号：0-5Vdc/4-20mA响应时间：＜2秒供电：±15Vdc＞350mA工作温度：0-50℃泄漏率：1×10-9atm。cc/sec量程比：3~100！

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　　输入输出信号：0-5Vdc/4-20mA响应时间:2秒供电：±15Vdc＞350mA工作温度：0-50℃泄漏率：1×10-9atm!cc/sec量程比：3~100型号：M2400VA流量范围：100~300SLPM精度：±2%FS（满量程）工作压力：＜待询！输入输出信号：0-5Vdc/4-20mA响应时间：＜2秒供电：±15Vdc＞350mA工作温度：0-50℃泄漏率：1×10-9atm!cc/sec量程比：3~100型号：M2500VA流量范围：300~1000SLPM精度：±2%FS（满量程）工作压力：＜待询！

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