通入吹洗用气体,以将反应腔中多余的NH3等离子体以及反应副产物吹洗干净,获得氮化锰薄膜.通过以上方法制成的氮化锰薄膜具有很多优点,如制作工艺简单,无需后退火,可直接在介质上形成MnxNy阻挡层薄膜!氮化锰薄膜具有很好的均匀性和表面平整度,较低的电阻率。希望大家可以通过这些信息,进一步增加对氮化锰薄膜的了解。同时,也能间接的了解到,氮化锰的应用范围增氮有些微合金化钢中,能充分发挥微合金化元素的作用,节约微合金化元素的用量,有效降低生产成本.
氮化硅锰中的主要物质是氮化锰(Mn5N2)和氮化硅(Si3N4)!锰在炼钢中起着脱氧、脱硫和合金化等作用。锰能消除或减弱因硫引起的热脆性,从而提高钢的热加工性能;还能细化珠光体晶粒并提高珠光体钢的强度,同时也能提高钢的淬透性!氮化硅具有高温热稳定性、抗热震性、抗冷热冲击性、化学稳定性和良好的电绝缘性及质硬性!氮化硅锰合金兼容了氮化硅和氮化锰的特殊性能,并且硅、锰与氮同时结合后,其性能也更加优越!增氮有些微合金化钢中,能充分发挥微合金化元素的作用,节约微合金化元素的用量,有效降低生产成本.
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但是,在退火过程中,Cu与low-k(比如SiCOH)介质直接接触,将会导致Cu在介质材料中扩散;而且形成的MnSixOy薄膜导电性较差,一般为绝缘体,会导致RC延迟增加!以脉冲的方式向反应腔中通入Mn(EtCp)2蒸气,使之与衬底表面的Si-H或Si-OH活性基团发生反应(Mn(EtCp)2中某一个化学键断裂与衬底表面的悬挂键成键),在衬底上形成密集且均匀且密集吸附的Mn(EtCp)2层;通入吹洗用气体,以将反应腔中多余的Mn(EtCp)2蒸气以及气态的反应副产物吹洗干净;以脉冲的方式向反应腔中通入NH3气体,同时开启等离子体发生器使其电离产生NH3等离子体,并与吸附于衬底表面的Mn(EtCp)2发生化学反应(NH3等离子体将与Mn连接的苯环键打断,并与Mn成键)。
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因此,氮化物是一种冶金生产中良好的添加剂!近几年,氮元素与合金元素相互作用所产生的特殊效果逐渐受到重视,从而开发出一系列高氮铁合金品种:氮化钒、氮化锰、氮化铬铁、氮化硅铁等!然而这些氮化合金,普遍存在着一些问题:对于氮化钒而言,由于钒资源有限,造成其的生产成本居高不下;使用氮化铌铁要求提高轧钢温度,国内很多轧钢设备很难达到这个要求;氮化锰和氮化铬铁,合金中氮的质量分数小于等于6%,应用价值不大;氮化钛铁中钛性质很活泼,难以控制,在钢水中收得率低.
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氮化硅锰具有良好的耐急热性、热传导性、化学稳定性和较小的热膨胀性。希望大家能够通过这些信息的介绍,加深对氮化硅锰的了解!欢迎广大新老用户与我公司联系,我公司不仅能向大家简单的介绍一些关于氮化硅锰的信息,同时,也能提供的氮化硅锰!通过实验室和工业试验研究,得出氮化硅锰在钢中可起到增氮作用,LF精炼后期加入氮化硅锰,氮的收得率较稳定,平均为24%。用氮化硅锰在钢中增氮不会影响钢中夹杂物的含量,成品钢的金相检验结果、低温冲击性能等均满足相应钢种的标准要求.
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马来西亚国民大学提出了一种基于标准CMOS工艺制造超薄薄膜的方法。他们利用SiO2层作为牺牲层来形成绝对压力空腔,氧化层的释放需要利用通道孔让腐蚀剂BOE进入氧化层对其进行腐蚀。然后采用LPCVD淀积氮化硅来密封通道孔,从而形成厚度仅为2 μm的传感器薄膜。这种加工技术的优点在于传感器可以单片集成,可以使用集成电路(IC)工艺进行制备。因此,传感器可以和读取电路、通信系统等集成。同时,淀积形成的仅为0.3 μm的空腔高度可以使传感器获得很大的电容式变化值。