但是，在退火过程中，Cu与low-k（比如SiCOH）介质直接接触，将会导致Cu在介质材料中扩散；而且形成的MnSixOy薄膜导电性较差，一般为绝缘体，会导致RC延迟增加！以脉冲的方式向反应腔中通入Mn(EtCp)2蒸气，使之与衬底表面的Si-H或Si-OH活性基团发生反应（Mn(EtCp)2中某一个化学键断裂与衬底表面的悬挂键成键），在衬底上形成密集且均匀且密集吸附的Mn(EtCp)2层；通入吹洗用气体，以将反应腔中多余的Mn(EtCp)2蒸气以及气态的反应副产物吹洗干净；以脉冲的方式向反应腔中通入NH3气体，同时开启等离子体发生器使其电离产生NH3等离子体，并与吸附于衬底表面的Mn(EtCp)2发生化学反应（NH3等离子体将与Mn连接的苯环键打断，并与Mn成键）!
氮化硅锰中的主要物质是氮化锰(Mn5N2)和氮化硅(Si3N4)。锰在炼钢中起着脱氧、脱硫和合金化等作用!锰能消除或减弱因硫引起的热脆性，从而提高钢的热加工性能；还能细化珠光体晶粒并提高珠光体钢的强度，同时也能提高钢的淬透性!氮化硅具有高温热稳定性、抗热震性、抗冷热冲击性、化学稳定性和良好的电绝缘性及质硬性.氮化硅锰合金兼容了氮化硅和氮化锰的特殊性能，并且硅、锰与氮同时结合后，其性能也更加优越！增氮有些微合金化钢中，能充分发挥微合金化元素的作用，节约微合金化元素的用量，有效降低生产成本!
因此，氮化物是一种冶金生产中良好的添加剂。近几年，氮元素与合金元素相互作用所产生的特殊效果逐渐受到重视，从而开发出一系列高氮铁合金品种：氮化钒、氮化锰、氮化铬铁、氮化硅铁等!然而这些氮化合金，普遍存在着一些问题：对于氮化钒而言，由于钒资源有限，造成其的生产成本居高不下；使用氮化铌铁要求提高轧钢温度，国内很多轧钢设备很难达到这个要求；氮化锰和氮化铬铁，合金中氮的质量分数小于等于6%，应用价值不大；氮化钛铁中钛性质很活泼，难以控制，在钢水中收得率低。
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长期以来炼钢厂生产含氮钢种使用的增氮剂为钒氮合金。随着铁合金市场价格的调整需寻求一种价格低廉的合金在保证钢质量的前提下满足钢种对氮含量的要求.氮化硅锰中氮含量平均为为确定氮化硅锰能否在炼钢上用作增氮剂以及对钢质量有何影响进行了氮化硅锰在钢中应用试验研究。实验室研究为氮化硅锰的加入方法及增氮效果并初步掌握其收得率情况在感应炉上进行了实验室研究!实验过程中氮化硅锰随炉料一同加入量为22g，实验结果氮化硅锰中氮的收得率平均为22%。
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氮化硅锰合金兼容了氮化硅和氮化锰的特殊性能，并且硅、锰与氮同时结合后，其性能也更加优越!氮化硅锰合金目前有5种制备方法：真空烧结法、二次氮化法、微波合成法、高温自蔓延合成法和常压一步合成法！现有的制备工艺都存在着能够进行优化改进的空间，今后将会在简化操作工艺，缩短反应时间和降低生产成本等方面继续探索改良.氮化硅锰是一种新型的钢添加剂，和常规氮化合金相比，具有优异的性能和应用优点!氮化硅锰具有良好的耐急热性、热传导性、化学稳定性和较小的热膨胀性，其较强的微合金化作用和增氮效果在取向硅钢、HRB400以上级螺纹钢钢筋等领域都得到了广泛的应用，具有市场需求!
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