通入吹洗用气体，以将反应腔中多余的NH3等离子体以及反应副产物吹洗干净，获得氮化锰薄膜.通过以上方法制成的氮化锰薄膜具有很多优点，如制作工艺简单，无需后退火，可直接在介质上形成MnxNy阻挡层薄膜!氮化锰薄膜具有很好的均匀性和表面平整度，较低的电阻率。希望大家可以通过这些信息，进一步增加对氮化锰薄膜的了解。同时，也能间接的了解到，氮化锰的应用范围增氮有些微合金化钢中，能充分发挥微合金化元素的作用，节约微合金化元素的用量，有效降低生产成本。
因此，氮化物是一种冶金生产中良好的添加剂！近几年，氮元素与合金元素相互作用所产生的特殊效果逐渐受到重视，从而开发出一系列高氮铁合金品种：氮化钒、氮化锰、氮化铬铁、氮化硅铁等！氮化硅锰目前有5种制备方法，分别是真空烧结法、二次氮化法、微波合成法、高温自蔓延合成法和常压一步合成法!现有的制备工艺都存在着能够进行优化改进的空间，今后将会在简化操作工艺，缩短反应时间和降低生产成本等方面继续探索改良!氮化硅锰是一种新型的钢添加剂，和常规氮化合金相比，具有优异的性能和应用优点!
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直到后开发出了氮化硅锰（MnSiN）合金，氮化物才真正有效实现了冶炼添加剂的效果.氮化硅锰合金(MnSiN)中的主要物质是氮化锰(Mn5N2)和氮化硅(Si3N4)。锰在炼钢中起着脱氧、脱硫和合金化等作用.锰能消除或减弱因硫引起的热脆性，从而提高钢的热加工性能；还能细化珠光体晶粒并提高珠光体钢的强度，同时也能提高钢的淬透性！氮化硅具有高温热稳定性、抗热震性、抗冷热冲击性、化学稳定性和良好的电绝缘性及质硬性.
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但是，在退火过程中，Cu与low-k（比如SiCOH）介质直接接触，将会导致Cu在介质材料中扩散；而且形成的MnSixOy薄膜导电性较差，一般为绝缘体，会导致RC延迟增加!以脉冲的方式向反应腔中通入Mn(EtCp)2蒸气，使之与衬底表面的Si-H或Si-OH活性基团发生反应（Mn(EtCp)2中某一个化学键断裂与衬底表面的悬挂键成键），在衬底上形成密集且均匀且密集吸附的Mn(EtCp)2层；通入吹洗用气体，以将反应腔中多余的Mn(EtCp)2蒸气以及气态的反应副产物吹洗干净；以脉冲的方式向反应腔中通入NH3气体，同时开启等离子体发生器使其电离产生NH3等离子体，并与吸附于衬底表面的Mn(EtCp)2发生化学反应（NH3等离子体将与Mn连接的苯环键打断，并与Mn成键）!
其实，作为一种氮化材料，氮化锰可应用在不同的领域中。由于锰、氮的各种作用，在炼制高强度钢、不锈钢、耐热钢时需要同时加人锰、氮元素!以单质形式加入锰、氮两种元素时，存在如氮的溶解度低、密度小、不易加入及氮的添加量不易控制等缺点。然而，以氮锰化合物形式加入时，不仅易于加入，并且锰、氮的利用率也高!为了能够加深大家对氮化锰的了解，掌握更多关于氮化锰的应用范围，将向大家简单的讲一下氮化锰薄膜的制作方法!传统的Mn基阻挡层主要通过PVD共沉积CuMn复合材料，然后使用热退火处理，使Mn扩散介质表面来实现！
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氮化硅锰具有良好的耐急热性、热传导性、化学稳定性和较小的热膨胀性。希望大家能够通过这些信息的介绍，加深对氮化硅锰的了解。欢迎广大新老用户与我公司联系，我公司不仅能向大家简单的介绍一些关于氮化硅锰的信息，同时，也能提供的氮化硅锰。通过实验室和工业试验研究,得出氮化硅锰在钢中可起到增氮作用,LF精炼后期加入氮化硅锰,氮的收得率较稳定,平均为24%.用氮化硅锰在钢中增氮不会影响钢中夹杂物的含量,成品钢的金相检验结果、低温冲击性能等均满足相应钢种的标准要求！
因此，氮化物是一种冶金生产中良好的添加剂！近几年，氮元素与合金元素相互作用所产生的特殊效果逐渐受到重视，从而开发出一系列高氮铁合金品种：氮化钒、氮化锰、氮化铬铁、氮化硅铁等。然而这些氮化合金，普遍存在着一些问题：对于氮化钒而言，由于钒资源有限，造成其的生产成本居高不下；使用氮化铌铁要求提高轧钢温度，国内很多轧钢设备很难达到这个要求；氮化锰和氮化铬铁，合金中氮的质量分数小于等于6%，应用价值不大；氮化钛铁中钛性质很活泼，难以控制，在钢水中收得率低。
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